表面上突出显示了一个大划痕，但平均厚度仍保持在 250 nm 范围内。测量总时间不到 10 分钟，可与使用一个激光和机械延迟线（零差系统）的单点测量相媲美。

到目前为止，生产管理行业的产品只是零差仪器执行皮秒超声波测量，将表面的全扫描减少到仅在整个晶圆上检查的极少数点。

我们刚刚看到单层薄膜厚度测量非常简单。如果您要处理多个层，则原始数据的读取要复杂得多。但是，可以对样本进行建模，并将模拟信号与实际测量值进行比较，并具有令人难以置信的拟合度。

ASOPS 成像系统/ 异步光采样成像系统-neta Jax产品特点：

系统使用获得zuanli的光声技术设计无损测量系统。

源自 CNRS 和波尔多大学的技术转让，它依靠激光、材料和声波之间的相互作用实验超精密材料物性，薄膜厚度检测

系统使用无接触，无损光学测量。运用激光产生100GHz以上超高频段超声波，以此检测获得材料诸如厚度，附着力，界面热阻，热导率等。

产品尤其适测量从几纳米到几微米的薄层，无论是不透明的（金属、金属氧化物和陶瓷），还是半透明和透明的。 这种全光学无损检测技术（without contact, no damage, no water, no Xray）不受样品形状的影响。

产品适用精度可以达 1nm to 30 microns , Z轴分辨率为亚纳米

于此同时，系统提供附着力、热性能（纳米结构界面热阻）测量分析

ASOPS 成像系统/ 异步光采样成像系统-neta Jax产品应用：

多物理场

当你和几位薄膜专家聊天时，他们都会统一告诉你：

• 厚度是一个关键参数

• 粘连始终是个问题

• 无损测量是一个很好的改进

• 越快越好

• 成像很棒

在行业中，无论您是在显示器领域还是在半导体领域工作，厚度和附着力都是制造过程中所有步骤的主要关注点。皮秒超声波技术已经用于晶圆检测，这表明其成熟度和保密性。

附着力测量的标准程序仅适用于扁平和大型样品，它们具有破坏性。对于 3D 样品，如果您想检查非常小的表面上的附着力，激光是解决方案。现在可以在制造过程的每个步骤中在线验证整个样品的附着力。

现在学术界有不同的关注点，对原子尺度物质行为的理解也越来越深入。

ASOPS 系统可以超越皮秒超声波——如果我们坚持厚度和附着力，它已经是一个很好的信息来源——并且可以从原始数据中获得更多信息，例如热信息或关键机械参数。

导热系数

导热系数是表示材料导热能力的参数。

薄膜、超晶格、石墨烯和所有相关材料在晶体管、存储器、光电器件、MEMS、光伏等应用中具有广泛的技术意义。在许多这些应用中，热性能是一个关键的考虑因素，促使人们努力测量这些薄膜的热导率。薄膜材料的热导率通常小于其大块材料的热导率，有时甚至非常显着。

与块状单晶相比，许多薄膜含有更多的杂质，这往往会降低热导率。此外，由于声子泄漏或相关相互作用，即使是原子级完美的薄膜也有望降低热导率。

使用脉冲激光是测量薄材料热导率的众多可能性。时域热反射率 (TDTR) 是一种可以测量材料热性能的方法。它甚至更适用于薄膜材料，与散装的相同材料相比，薄膜材料的性能差异很大。

激光引起的温度升高可以写成：

 

其中 R 是样品反射率，

Q是光脉冲能量，

C是单位体积的比热，

A是光斑面积，

ζ是光吸收长度，

z 是进入样本的距离

光电探测器测得的电压与R的变化成正比，由此可以推导出热导率。

在某些配置中，将探针射在样品底部（图 8）或反之亦然，以便从样品的一侧或另一侧获得更准确的信号，这可能很有用。

表面声波测量

当泵浦激光撞击表面时，产生的超声波实际上是由两种不同的波模式组成的，一种在本体中传播，称为纵向（见图 2），另一种沿表面传播，称为瑞利模式。

在工业中，表面声波 (SAW) 的检测用于检测和表征裂纹。

表面波对表面涂层的存在和特性非常敏感，即使它们比波的穿透深度薄得多。

杨氏模量可以通过测量表面波的速度来确定。

表面波在均匀各向同性介质中的传播速度 c 与：

• 杨氏模量 E，

• 泊松比 ,

• 密度

由以下近似关系

当使用工业 ASOPS 系统对 SAW 进行测量和成像时，泵浦激光器是固定的（图 8）并且总是击中同一个点。由于仪器中安装了扫描仪，探头正在测量泵浦激光器周围的信号。

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