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昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供前所未有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备，集成了远心成像光学优化DLP芯片组。
这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的完美解决方案。
DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择（365nm、385nm、395nm、405nm）。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管（例如、LD405nm）的照明器。
LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。
DLP/DMD光刻照明光源产品亮点：
专为DLP®9000和DLP®9500设计
包括高性能LED驱动器、便于控制和编程
高强度性能能够缩短/减少处理时间
由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂
不会过时的无汞光源
DLP/DMD光刻照明光源产品规格：
| 辐射输出功率 |
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| 波长配置 |
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| 光出口角 |
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| 照明均匀性和DMD芯片溢位 |
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| 热管理 |
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| 使用寿命 |
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| LED-驱动器 |
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| 外部接口 |
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| 程序 | 串行（USB）和远程登录（以太网）通信命令集 |
| 尺寸和重量 |
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| 重量 |
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更新时间：2023/11/11 17:14:20
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