二维MEMS扫描镜

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产品简介

二维MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜 超低功耗大角度超快二维扫描

微机电扫描镜, 又称MEMS扫描镜，是通过电机驱动镜面倾斜，从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件，MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点，而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用，实现更高的定位精度。

微机电扫描镜, MEMS扫描镜，MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror

这款无转向节二维MEMS扫描镜完全采用单晶硅材料制成。该二维MEMS扫描镜中不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件，也没有易于发生故障的压电或电磁促动器，所以该二维MEMS扫描镜具有很高的位置重复精度与可靠性。同时，这款二维MEMS扫描镜完全由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式，因此工作过程中没有电流。这款无转向节二维MEMS扫描镜可实现大角度、超快二维光束扫描。二维扫描角度可达32度，并且功耗极低，仅1mW。该二维MEMS扫描镜采用线性驱动方式和四象限可寻址静电梳驱动设计，保证了很好的电压与角度的线性度。

主要特点：

l 模拟电压控制可实现任意角度偏转；

l 点到点光束扫描，驱动电压与扫描角度一一对应；

l 模块设计方便选择各种不同尺寸的镜面，以根据不同应用实现优化；

l 同时在XY两个方向实现高速扫描

l 动态模式扫描，XY两个方向大角度扫描(e.g. -16⁰ to 16⁰)

主要参数：

Integrated Mirror Devices	Bonded Mirror Devices
镜面大小: 0.8mm, 1.2mm, 1.6mm, 20.mm and 2.4mm diameter always in stock	镜面大小: 2.0, 2.4, 3.0, 3.6, 4.2, and 5.0mm diameter in stock, larger possible in special orders.
点到点驱动模式倾斜角度: -6° to +6° mechanical each axis, varies with design type.	点到点驱动模式倾斜角度: -6° to +6° mechanical on each axis, varies with design type.
共振驱动模式倾斜角度： -7° to +7° mechanical	共振驱动模式倾斜角度: -7° to +7° mechanical, varies with design type.
表面粗糙度: <10 nm rms 驱动方式:静电驱动镜面曲率半径: >5 m 镜面镀膜: Aluminum or Gold 位置重复精度: better than 0.0005° (500 micro-degrees) at room temperature 工作温度: -40°C to 105°C 光学窗口: Anti-reflection coated fused silica windows. 光学损伤阈值: up to 2W any mirror, any wavelength. Above 2W depends on mirror size, coating, and wavelength. E.g. 3W CW blue or green on a 2mm or larger mirror . 初始共振旋转频率: >3 kHz for both axes for small mirror sizes, >1.2kHz for 2.0mm size, etc.