发布时间:2019/10/4 15:33:26
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空气轴承位移平台
可根据客户要求定制不同类型的位移平台
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案:
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
?整体解决方案
?定制化解决方案
?复杂的多轴与并联运动系统
?超精密空气与机械轴承
?软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点:
l 优异的重复精度
l 超大行程
l 采用空气轴承,无需维护
l 可按客户要求进行定制
主要应用
l 高性能扫描
l 光学检测系统
l 超精密研磨和切削
l 光伏系统
l 医疗系统
l 同步辐射或X射线
l 激光加工
l 半导体行业
l 晶体处理
产品参数:
Units | LS100 | LS200 | LS300 | LS400 | LS500 | LS1000 | LS1500 | |
travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 1000 | 1500 |
load capacity | kg | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 |
accuracy | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
repeatability | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 |
flatness | μm | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±3 | ±5 |
pitch | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
roll | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
yaw | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
更新时间:2023/11/11 17:13:57
ALIO定制化控制运动位移台型号:精密定位平台 | 显微载物台
显微镜物镜扫描台型号:PIEZOCONCEPT
高精度纳米级高负载-电动垂直运动平台型号:ALIO
高精度纳米级高负载电动旋转台型号:ALIO
Product classification
主营产品:昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件,连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等
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