微型振镜/微型扫描镜

所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 快速倾斜镜/转镜/旋转平移台

产品简介

微型振镜

超小尺寸，内置控制器的压电陶瓷电机微型振镜！

AU-M3-RS微型振镜将微型压电马达、精密导向系统、位移传感器、微处理器集成到紧凑的空间中，该模块拥有超小的体积（直径<12mm），在紧凑的空间中包含一个世界上*小的压电马达和IC驱动，但却可以提供更高的功率和可靠性，精度比电磁电机高十倍。内置微处理器及PID控制器，无需外加控制器，只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动旋转台。内置绝对位移传感器，使微型振镜的角分辨率达到0.025°。采用独特的自锁设计，只有在移动时才使用动力，使其拥有极低的功耗。

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不需要外部控制器。该模块将PID控制器集成到电路板上，只需要通过标准的I2C 或者SPI接口输入简单的串行命令就可以驱动该控制器。可以通过USB适配器连接电脑，直接通过软件控制聚焦模块的运动。操作简单使用方便。

AU-M3-RS拥有以下几种开发套件：

①光束控制和镜面定位系统，该系统是一个完整的光束控制系统。在紧凑的体积（直径12mm）中包含压电马达、位置传感器、轴承以及内置控制器。在微型振镜上安装了一个镀铝膜的镜子，每秒可旋转1100°，精度可达到0.025°。点对点光束控制和动态扫描频率可达100Hz。镜子的偏转角度可达到±20°采用独特的自锁设计，只有在移动时才使用动力，使其拥有极低的功耗。输入电压只需要3.3V。

单轴镜面定位开发套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）

双轴光束控制系统（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）

②旋转定位平台（AU-M3-RS-U-360）是集压电马达、位置传感器、轴承以及内置控制器于一体的运动系统。但是其拥有超小的体积，只有12（D）′12.5（H）。该系统可以提供连续的360°运动，并且拥有绝对位置反馈系统，使其分辨率可达到0.025°。该微型振镜只需要输入3.3V的直流电压，运动时耗能仅为500mW，因此可以用电池或者USB作为电源，这非常利于手提和便携式设备。

u 主要特点

l 成本低

l 超小尺寸

l 低功耗

l 无外加控制器

l 高分辨率（0.0057°）

u 主要应用

皮肤科激光、荧光显微镜和成像仪器、体内和体外的微激光手术、3D打印、激光雷达、三维测量、遥感、防抖动设备、激光打标、激光雕刻、自由空间光通信、目标指示、目标探测、目标跟踪等。

u 主要参数

型号参数	AU-M3-RS-U-360	AU-DK-M3-RS-U-1M-20	AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L
Rotation Range	360 deg continuous rotation	+/- 20 deg	+/- 20 deg
Speed	> 1100 deg/sec	> 1100 deg/sec	> 1100 deg/sec
Acceleration	> 1,000,000 deg/sec²	> 1,000,000 deg/sec²	> 1,000,000 deg/sec²
Stall Torque (min)	0.04 N-mm	0.04 N-mm	0.04 N-mm
Holding Torque (min)	0.08 N-mm (zero power)	0.08 N-mm (zero power)	0.08 N-mm (zero power)
Recommended Maximum Payload mounted to rotating shaft (Payload must be balanced)
Mass	3 g	3 g	3 g
Inertia	350 g-mm²	350 g-mm²	350 g-mm²
CLOSED-LOOP performance (with built-in position sensor)
Recommended Step Frequency	Up to 100 Hz	Up to 100 Hz	Up to 100 Hz
Resolution (encoder resolution)	0.025 deg (440 μrad) absolute	0.025 deg (440 μrad) absolute	0.025 deg (440 μrad) absolute
Repeatability	+/-0.05 deg (880 μrad)	+/-0.05 deg (880 μrad)	+/-0.05 deg (880 μrad)
Accuracy	0.25 deg (4400 μrad)	0.25 deg (4400 μrad)	0.25 deg (4400 μrad)
Maximum Closed-Loop Step & Settle Times	0.96 g-mm 2 inertial load*	0.99 g-mm 2 inertial load*	0.99 g-mm 2 inertial load*
0.5 deg	9ms	9ms	9ms
5 deg	14ms	14ms	14ms
20 deg	21ms	21ms	21ms
OPEN-LOOP performance (external position sensor provided by user)
Resolution	< 0.0057 deg (< 100 μrad)	<0.0057 deg (<100 μrad)	<0.0057 deg (<100 μrad)
Accuracy	Typically better than 10% of distance travelled after calibration