产品简介
三维纳米定位工作台
亚纳米级三维定位工作台!
AU-NPS-XYZ系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。灵活的模块化组合可以提供不同特点的三维微动台,满足不同类型的高分辨率的显微镜。
Nanopositioning Stages,纳米定位工作台,微定位工作台,微动台,压电精密定位系统,三维纳米定位工作台,纳米级三维微动台,压电陶瓷平移台、压电平移台、压电扫描台、压电定位台、压电定位扫描台、压电定位平移台、压电陶瓷扫描台、高精度压电平移台。
AU-NPS-XYZ系列纳米三维维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
该三维微动台采用超级不胀钢(因瓦合金)结构,其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1,使热漂移达到*小,这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。AU-NPS-XYZ系列微动台采用是由AU-NPS-XY-100A二维微动台与Z轴运动的一维微动台组合而成。因此三维微动台可以在X,Y方向可以分别提供100微米的闭环行程,在Z轴方向上可以提供15微米的闭环行程。而且可以提供四种不同的安装配置,使其满足不同的安放位置的需求。
AU-NPS-XYZ-100/Z15A 是由二维亚纳米扫描台AU-NPS-XY-100A与单轴Z向扫描台AU-NPS-Z-15A组合而成,因此该扫描台集合了二者的优势。在X轴和Y轴提供120微米的闭环行程,在Z轴提供16微米的行程,采用电容位移传感器,分辨率可达亚纳米级别。并且拥有极佳的线性和极低的迟滞。材质采用不胀钢,使其拥有极低的热漂移。
AU-NPS-XYZ-100/Z15H由AU-NPS-XY-100A和AU-NPS-Z-15H组合而成,因此这款三维扫描台性能与上一款性能相似。不同的是AU-NPS-Z-15H平台为中空的。
u 主要特点
l 亚纳米级的分辨率
l 高的带宽
l 高速响应
l 高的可靠性
l 结构紧凑
l 压电陶瓷驱动
l 柔性铰链设计
l 安装简单和简单的图像校准
l 电容位移传感器闭环反馈
l 迟滞/线性误差<0.005%
u 主要应用
高精度显微镜、投射显微镜、光学追踪、原子力显微镜、近场扫描光学显微镜、双光子显微镜等。
u 主要参数
型号 参数 | AU-NPS-XYZ-100/Z15A | AU-NPS-XYZ-100/Z15H | |
XY轴 | |||
Material | Super Invar | Super Invar (Bright nickel plated) | |
Size (mm) | 100 x 100 x 48 | 100 x 100 x 38.5 | |
Range | Minimum | ± 50 | ± 50 |
Typical | ± 55 | ± 55 | |
Maximum | |||
Static stiffness (Typical) | 1 N/μm | 1 N/μm | |
Position noise (nm) | Fast | 0.4 | 0.7 |
Medium | 0.3 | 0.5 | |
Slow | 0.1 | 0.25 | |
Linearity error (%) | Fast | ||
Medium | 0.01 | 0.01 | |
Slow | 0.02 | 0.02 | |
Hysteresis (peak to peak) (%) | Fast | ||
Medium | 0.005 | 0.005 | |
Slow | 0.01 | 0.01 | |
Z轴 | |||
Material | Super Invar | Super Invar | |
Range | Minimum | ± 7.5 | ± 7.5 |
Typical | ± 8.5 | ± 8.5 | |
Maximum | |||
Position noise (nm) | Fast | 0.1 | 0.5 |
Medium | - | 0.2 | |
Slow | 0.05 | 0.1 | |
Linearity error (%) | Fast | ||
Medium | 0.01 | 0.01 | |
Slow | 0.02 | 0.02 |
更新时间:2023/11/11 17:14:03
光量测设备-雾度计型号:LCRT-2005H-S
超小尺寸光束分析仪型号:CinCam Pico
紫外和蓝光危害测量仪型号:X1-3
自相关仪FR-103TPM-双光子显微专用型号:FemtoChrome.
光腔衰荡光谱测量系统型号:光腔衰荡光谱测量系统
定量双折射成像系统型号:定量双折射成像系统
FROG 超短脉冲测量分析仪型号:脉冲测量分析仪
Product classification
主营产品:昊量代理的产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件,连续激光器(CW),ns | ps | fs 脉冲激光器,可调谐激光器,激光量测设备,调制器,偏转器,滤波器,空间光调制产品,信号处理,分析设备,光谱仪器,相机系列,光学器件,光栅,光学晶体,光纤器件,位移台,偏转镜,旋转台,冷原子,量子光学产品,材料分析设备,光学检测设备,显微成像系统及组件,光学隔振平台,THz产品,X射线产品,等
版权所有©上海昊量光电设备有限公司, All Right Reseverd ICP备案号: 沪ICP备08102787号-5 总访问量:493991 管理登录 阿仪网设计制作,未经允许翻录必究